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更新日期：2024-03-19
簡要描述：
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ直流濺射類別中系列中z小的超緊湊機型小型濺射裝置，可以輕松地制造電極薄膜標配間歇濺射功能
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
特征
直流濺射類別中系列中z小的超緊湊機型
小型濺射裝置，可以輕松地制造電極薄膜
標配間歇濺射功能
使用專yong的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。
應(yīng)用/結(jié)果示例
各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應(yīng)用?
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
| 濺射靶 | 包含金靶 |
| 氣體導入機制 | 針閥 |
| 間歇功能 | 標配 |
| 真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動泄漏） |
| 箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ90mmx D90mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：160/326 / 286mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：10公斤RP：9公斤 |
