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    日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201 實驗室冷水機
    
            
    
              
    訪問次數(shù)：1257
    
              
    更新日期：2024-03-24
    
              
    簡要描述：
    
              
    日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201
    適用于等離子刻蝕和其他半導體應用的機架式冷水機組
    
            
    
          
    
          
    
            
    日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201 實驗室冷水機
    
            
    
              
    
                
      
                  
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    品牌其他品牌產(chǎn)地進口
    冷卻方式水冷式儀器種類分體式
    
                            
                            
                    
    
                
    日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201
    image.png

    • 1，200 瓦的冷卻能力
    • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復性
    • 工作溫度范圍：-10°C 至 80°C
    • 專為非?？焖俚捻憫O(shè)計
    • 減少晶圓間的變化，消除晶圓效應
    • 比基于壓縮機的冷水機組節(jié)能高達 80%
    • 采用熱電技術(shù)，可靠性高，維護成本低
    • 設(shè)計簡單 – 只有 2 個活動部件
    • 消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)
    • 使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
    • 緊湊的尺寸：多達 6 個 TR1201 系統(tǒng)適合 1 臺壓縮機冷水機組的空間
    • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
    • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
    • 等離子刻蝕、等離子灰、CMP 和其他工藝的解決方案
    • 輔助加熱器可用于加熱65°C以上
    • 詢問我們的以舊換新優(yōu)惠
    日本sscooling架式冷水機組ThermoRack 1201
    規(guī)格

    工作范圍：
    5°C 至 80°C（-10°C 至 80°C，帶 N2 選項）
    如果在 0°C 以下工作，則需要 LT 選件
    環(huán)境溫度：
    10°C 至 40°C 無冷凝
    穩(wěn)定性/可重復性：
    恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時）
    制冷量*：
    ~1，200 瓦 @ 20°C，20°C 設(shè)施用水
    加熱能力**：
    ~2，000 瓦 @ 20°C，20°C 設(shè)施用水
    冷卻液/工藝流體：
    氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
    工藝流體接頭：
    1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
    泵：
    無刷直流磁力驅(qū)動離心機
    流量
    14-18 升/分鐘@ 20 psig（取決于工藝流體）
    油箱容積：
    5.7 升（1.5 加侖），帶 2 個液位傳感器
    設(shè)施用水：
    4-19 升/分鐘（1-5 加侖/分鐘）@ 10-35°C 過濾，處理過的再循環(huán)設(shè)施冷卻水，pH 6.5 至 8.2
    設(shè)施水配件：
    1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
    N2/CDA（N2 選項）
    500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
    30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作
    接液材料：
    工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設(shè)施
    ：密封硬質(zhì)陽極氧化鋁
    和不銹鋼
    尺寸（寬 x 深 x 高）：
    19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）
    重量：
    70 磅（31 千克）
    電源輸入：
    200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A
    斷路器：
    16 安培 200-250 VAC 2 極，帶 30 mA GFCI
    遠程EMO：
    外部干接點
    通信：
    泛林， 應用材料公司，  RS232， 其他
    警報：
    溫度、液位、系統(tǒng)或組件
    故障（顯示、干接點和機器接口）
    標準：
    半 S2-0200，符合 F47 標準，CE
    保證：
    2 年
    *注意：冷卻能力會因配置和設(shè)施而異 水溫/流速
    **注意：80°C的加熱能力非常有限。
    
              
    



    

    
	
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                請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7
            
      
		
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