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更新日期：2024-03-26
簡(jiǎn)要描述：
日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2專用于光刻樣品的開(kāi)爾文探針輕松設(shè)置樣品，無(wú)需微調(diào)電極和樣品之間的距離
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2
特征
專用于光刻樣品的開(kāi)爾文探針
輕松設(shè)置樣品，無(wú)需微調(diào)電極和樣品之間的距離
可在大氣中測(cè)量半導(dǎo)體樣品的費(fèi)米能級(jí)
由于測(cè)量時(shí)間短，因此非常適合測(cè)量隨時(shí)間變化的情況，例如成膜或表面處理后金屬表面的變化。
目的
有機(jī)電子材料的費(fèi)米能級(jí)測(cè)量
金屬和導(dǎo)電薄膜功函數(shù)的測(cè)量
日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2
產(chǎn)品分類 | 開(kāi)爾文探針 |
模型 | FAC-2 |
測(cè)量原理 | 開(kāi)爾文法 |
測(cè)量零件尺寸 | Φ10mm |
測(cè)量能量范圍 | 3.4 至 6.2eV（使用功函數(shù)為 5.0eV 的參考樣品進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)） |
測(cè)量時(shí)間 | 10 秒或更短（如果樣品是金屬） |
重復(fù)性（標(biāo)準(zhǔn)差） | 功函數(shù)0.02eV（樣品：金板） |
溫濕度范圍 | 溫度范圍15-35℃，濕度20-60%RH |
電源 | AC100V，50/60Hz 5A（最大） |
外形尺寸 | 約235（寬）×330毫米（高）×408（深）毫米 |
重量 | 約12公斤 |
